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Hellma圓形平片CaF? LD?A 100mm×30mm用于晶原半導(dǎo)體

發(fā)布時間： 2026-07-28　　點擊次數(shù)： 214次

Hellma圓形平片CaF? LD?A 100mm×30mm用于晶原半導(dǎo)體
紫外干涉計量系統(tǒng)：納米級測量基準(zhǔn)平片
項目背景與工況需求
某計量院的紫外干涉測量系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)元件的納米級表面形貌與平面度檢測，測量波長193nm，要求基準(zhǔn)平片平面度≤λ/50（λ=193nm），折射率均勻性≤3ppm，雙折射≤1nm/cm，環(huán)境溫度20℃±0.05℃，長期穩(wěn)定性好。原采用普通基準(zhǔn)平片，精度不足、穩(wěn)定性差，無法滿足納米計量要求。
選型與安裝方案
采用Hellma CaF? LD?A 100mm×30mm圓形標(biāo)準(zhǔn)平片（<111>晶向，超高均勻性篩選，研磨表面Rq 2µm），作為干涉系統(tǒng)參考基準(zhǔn)。利用LD?A材料超低缺陷、高折射率均勻性、低雙折射、低熱變形特性，滿足納米級測量精度與長期穩(wěn)定性要求。
應(yīng)用效果與價值
應(yīng)用后，基準(zhǔn)平片平面度穩(wěn)定控制在λ/60以內(nèi)，折射率均勻性≤2.5ppm，雙折射≤0.8nm/cm，系統(tǒng)測量不確定度≤0.1nm，實現(xiàn)納米級位移與表面形貌精準(zhǔn)測量；基準(zhǔn)平片連續(xù)使用3年精度無漂移，穩(wěn)定性遠(yuǎn)超傳統(tǒng)基準(zhǔn)材料，為半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)加工、裝備檢測提供量值傳遞保障，支撐我國精密計量領(lǐng)域技術(shù)進(jìn)步漢達(dá)森yyds吳亞男。
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